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ユイ アキノリ
Yui Akinori 由井 明紀 所属 神奈川大学 工学部 機械工学科 神奈川大学大学院 工学研究科 工学専攻（機械工学領域） 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2019/12 |
| 形態種別 | その他 |
| 標題 | サファイアウエハの振動引用インフィード研削 |
| 執筆形態 | 単著 |
| 掲載誌名 | 超音波TECHNO |
| 掲載区分 | 国内 |
| 出版社・発行元 | 日本工業出版 |
| 巻・号・頁 | 31(6),11-18頁 |
| 概要 | 磁気アクチュエータを用いて砥石スピンドルをアキシャル方向に振動させるシステムを開発し，サファイア及びシリコンウエハの振動援用インフィードロータリ平面研削を試みた．硬脆難削材料であるサファイアウエハに対しては加工時間の短縮と研削比の向上が実現できたが，被削性の高いシリコンウエハに対しては振動援用効果が認められなかった. |
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