クスヤマ ジュンペイ   Kusuyama Jumpei
  楠山 純平
   所属   神奈川大学  工学部 機械工学科
   職種   助教
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2022/07
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 SiC ウェーハのロータリ研削における加工特性,砥粒貫入角度を用いた評価
執筆形態 共著
掲載誌名 砥粒加工学会
掲載区分国内
出版社・発行元 砥粒加工学会
巻・号・頁 66(7),408頁
著者・共著者 楠山純平,楠山純平,中尾陽一,川瀬美真,金澤雅喜,石川一政,余語政輝