クスヤマ ジュンペイ   Kusuyama Jumpei
  楠山 純平
   所属   神奈川大学  工学部 機械工学科
   職種   助教
言語種別 英語
発行・発表の年月 2016/10
形態種別 その他論文
査読 査読あり
標題 Effects of Relative Velocity on Grinding Performances under Rotary Grinding of Si Wafer
執筆形態 共著
掲載誌名 Materials Science Forum
掲載区分国外
巻・号・頁 874,pp.655-660
著者・共著者 ◎Jumpei KUSUYAMA, Takayuki KITAJIMA, Akinori YUI, and Toshihiro ITO