テラジマ タケシ   Terajima Takeshi
  寺島 岳史
   所属   神奈川大学  工学部 機械工学科
   職種   准教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2003
形態種別 その他
標題 プラズマ成膜装置および成膜方法
執筆形態 共著
掲載誌名 特許3762985
著者・共著者 寺島岳史、鯉沼秀臣
概要 コンビナトリアル手法に基づいた大気圧非平衡プラズマ処理装置に関する特許