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テラジマ タケシ
Terajima Takeshi 寺島 岳史 所属 神奈川大学 工学部 機械工学科 神奈川大学大学院 工学研究科 工学専攻（機械工学領域） 職種 准教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2003 |
| 形態種別 | その他 |
| 標題 | プラズマ成膜装置および成膜方法 |
| 執筆形態 | 共著 |
| 掲載誌名 | 特許3762985 |
| 著者・共著者 | 寺島岳史、鯉沼秀臣 |
| 概要 | コンビナトリアル手法に基づいた大気圧非平衡プラズマ処理装置に関する特許 |
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