ホシノ ヤスシ   Hoshino Yasushi
  星野 靖
   所属   神奈川大学  理学部 理学科
    神奈川大学大学院  理学研究科 理学専攻(物理学領域)
   職種   准教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2014/09
形態種別 その他
標題 Si基板中への高温酸素イオン注入により形成したSOI構造の評価
執筆形態 共著
掲載誌名 応用物理学会 学術講演会 概要集
掲載区分国内
著者・共著者 神川智洋、星野靖、斎藤保直、中田穣治