ホシノ ヤスシ   Hoshino Yasushi
  星野 靖
   所属   神奈川大学  理学部 理学科
    神奈川大学大学院  理学研究科 理学専攻(物理学領域)
   職種   准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2018/03
形態種別 大学・研究所等紀要
標題 Oxygen ion implantation into the crystalline (001)Si substrates through the patterned SiO2 structures
-Evaluation of surface morphology-
執筆形態 共著
掲載誌名 Proceedings of the 36th Symposium on Materials Science and Engineering Research Center of Ion Beam T
掲載区分国内
出版社・発行元 Hosei University
巻・号・頁 36,pp.79-82
著者・共著者 Taiga Toyohara, Shun Kikuchi, Yutaro Tuyama, Kenta Mata, Gosuke Yachida, Yasushi Hoshino, Yasunao Saito, Jyoji Nakata