ホシノ ヤスシ   Hoshino Yasushi
  星野 靖
   所属   神奈川大学  理学部 理学科
    神奈川大学大学院  理学研究科 理学専攻(物理学領域)
   職種   准教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2022/12
形態種別 その他
標題 ダイヤモンド半導体へのBイオン注入における活性化アニール時間の最適化.
執筆形態 共著
掲載誌名 第41回法政大学イオンビーム工学研究所シンポジウム予稿集
掲載区分国内
出版社・発行元 法政大学
著者・共著者 関 裕平、倉島 凛太郎、星野 靖