研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1996/09
形態種別	その他
標題	Au／ZnS(Sm、F)／p－Si構造の電気的特性における不純物軽減の効果
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会（SC-6-5）
概要	イオンビームスパッタリング法で作成したZnS膜中のW，Feの混入を400ppm以下に軽減する成膜プロセス、及びその場合の電気的特性について報告した。