サトウ トモマサ   Sato Tomomasa
  佐藤 知正
   所属   神奈川大学  工学部 電気電子情報工学科
   職種   助手
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1996/03
形態種別 その他
標題 熱CVD法によるZnS(Mn)膜の下地依存性
執筆形態 共著
掲載誌名 電子情報通信学会総合大会(C-407)
概要 新タイプの蛍光体を開発するにあたり、熱CVD法によってZnS(Mn)膜を各種の基板、粉体状に成膜し、その結晶性の下地依存性について報告した。