研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1989/03
形態種別	学術雑誌
標題	高周波及びイオンビームスパッタ法による薄膜EL素子の作製
執筆形態	単著
掲載誌名	修士論文（神奈川大学）
概要	高周波及びイオンビームスパッタ法によって作製した薄膜EL素子について、その結晶性.組織の制御方法とEL特性について論じた。