研究者情報 | 神奈川大学

サトウ　トモマサ Sato Tomomasa 佐藤　知正所属神奈川大学工学部電気電子情報工学科職種助手
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1988/03
形態種別	その他
標題	反応性RFスパッタによるZnS薄膜の結晶構造
執筆形態	共著
掲載誌名	電子情報通信学会春季全国大会
概要	Zns薄膜の結晶性の向上を目的として、高周波スパッタ雰囲気ガスにSF6を導入した場合について、その結晶性と電気的特性について論じた。