オクノ ショウジ   Okuno Shoji
  奥野 祥二
   所属   神奈川大学  工学部 情報システム創成学科
   職種   助教
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1997/02
形態種別 学術雑誌
標題 Characterization of an ONO-stacked Insulator Film for a Silicon Micro-strip Detector
執筆形態 共著
掲載誌名 Nucl.Instr.& Meth.A385
巻・号・頁 299-305頁
概要 Shoji Okuno(Kanagawa U.),Hirokazu Ikeda(KEK),Yutaka Saitoh,Tadao Akamine,Masahiro Inoue,Junko Yamanaka,Kiyoaki Kadoi,Yoshikazu Kojima,Shin-ichi Miyahara,Masaaki Kamiya(Seiko Inst. Inc.) シリコン・マイクロストリップ検出器に用いるONO積層絶縁膜を用いたキャパシタの電気伝導特性および寿命について。