研究者情報 | 神奈川大学

オクノ　ショウジ Okuno Shoji 奥野　祥二所属神奈川大学情報学部システム数理学科職種助教
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1997/02
形態種別	学術雑誌
標題	Characterization of an ONO-stacked Insulator Film for a Silicon Micro-strip Detector
執筆形態	共著
掲載誌名	Nucl．Instr．＆ Meth．A385
巻・号・頁	299-305頁
概要	Shoji Okuno（Kanagawa U.），Hirokazu Ikeda（KEK），Yutaka Saitoh，Tadao Akamine，Masahiro Inoue，Junko Yamanaka，Kiyoaki Kadoi，Yoshikazu Kojima，Shin-ichi Miyahara，Masaaki Kamiya（Seiko Inst. Inc.）シリコン・マイクロストリップ検出器に用いるONO積層絶縁膜を用いたキャパシタの電気伝導特性および寿命について。