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オクノ ショウジ
Okuno Shoji 奥野 祥二 所属 神奈川大学 情報学部 システム数理学科 職種 助教 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 1997/02 |
形態種別 | 学術雑誌 |
標題 | Characterization of an ONO-stacked Insulator Film for a Silicon Micro-strip Detector |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | Nucl.Instr.& Meth.A385 |
巻・号・頁 | 299-305頁 |
概要 | Shoji Okuno(Kanagawa U.),Hirokazu Ikeda(KEK),Yutaka Saitoh,Tadao Akamine,Masahiro Inoue,Junko Yamanaka,Kiyoaki Kadoi,Yoshikazu Kojima,Shin-ichi Miyahara,Masaaki Kamiya(Seiko Inst. Inc.) シリコン・マイクロストリップ検出器に用いるONO積層絶縁膜を用いたキャパシタの電気伝導特性および寿命について。 |