オクノ ショウジ   Okuno Shoji
  奥野 祥二
   所属   神奈川大学  工学部 情報システム創成学科
   職種   助教
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1993/11
形態種別 その他
標題 Developement of novel fabrication techniques for a silicon micro-vertex detector unit using the flip-chip bonding method
執筆形態 共著
掲載誌名 1993 IEEE Nucl.Sci.Symposium
概要 Y.Saitoh,H.Takeuchi,M.Mandai,O.Koseki,T.Yoshino,H.Kanazawa,J.Yamanaka,S.Miyahara,M.Kamiya(Seiko Inst. Inc.).Y.Fujita,Y.Higashi,H.Ikeda,M.Ikeda,S.Koike,T.Matsuda,H.Ozaki,M.Tanaka,T.Tsuboyama(KEK),S.Avrillon,S.Okuno(Grad. U. Advanced Studies),J.Haba,H.Hanai,D.Tatsumi,K.Adachi,T.Kawasaki,Y.Nagashima(Osaka U.),S.Mori,K.Yusa(Tsukuba U.),C.Fukunaga,T.Matsushita(Tokyo Metro. U.),H.Miyata and K.Miyano(Niigata U.).シリコン検出器同士の電気的物理的な接続をするためのフリップチップ・ボンディングのときに新しく異方性導電膜の導入を行った。