研究者情報 | 神奈川大学

オクノ　ショウジ Okuno Shoji 奥野　祥二所属神奈川大学情報学部システム数理学科職種助教
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1993/11
形態種別	その他
標題	Developement of novel fabrication techniques for a silicon micro-vertex detector unit using the flip-chip bonding method
執筆形態	共著
掲載誌名	1993 IEEE Nucl．Sci．Symposium
概要	Y.Saitoh，H.Takeuchi，M.Mandai，O.Koseki，T.Yoshino，H.Kanazawa，J.Yamanaka，S.Miyahara，M.Kamiya（Seiko Inst. Inc.）.Y.Fujita，Y.Higashi，H.Ikeda，M.Ikeda，S.Koike，T.Matsuda，H.Ozaki，M.Tanaka，T.Tsuboyama（KEK），S.Avrillon，S.Okuno（Grad. U. Advanced Studies），J.Haba，H.Hanai，D.Tatsumi，K.Adachi，T.Kawasaki，Y.Nagashima（Osaka U.），S.Mori，K.Yusa（Tsukuba U.），C.Fukunaga，T.Matsushita（Tokyo Metro. U.），H.Miyata and K.Miyano（Niigata U.）.シリコン検出器同士の電気的物理的な接続をするためのフリップチップ・ボンディングのときに新しく異方性導電膜の導入を行った。