オクノ ショウジ   Okuno Shoji
  奥野 祥二
   所属   神奈川大学  工学部 情報システム創成学科
   職種   助教
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1993/11
形態種別 その他
標題 New Insulator film of Integrated Capacitor for Silicon Strip Detector
執筆形態 共著
掲載誌名 the IEEE Nucl.Sci.Symposium
概要 S.Okuno,S.Avrillon(Grad.U.Advanced Studies), T.Akamine,Y.Saitoh,J.Yamanaka,
S.Miyahara,Y.Ishihara,H.Takeuchi,M.Mandai,H.Kanazawa,Y.Kojima,M.Kamiya(Sekio Inst.Inc.),Y.Fujita,Y.Higashi,H.Ikeda,
M.Ikeda,S.Koike,T.Matsuda,H.Ozaki,M.Tanaka,T.Tsuboyama(KEK),J.Haba,
H.Hanai(Osaka U.),S.Mori,K.Yusa(Tsukuba U.)and C.Fukunaga(Tokyo Metro U.).シリコン検出器に集積して作り込む読みだ使用のカップリング・キャパシタに用いる絶縁膜として、シリコン酸化膜-シリコン窒化膜-シリコン酸化膜というこう構造を取るONO絶縁膜を提案、及び電気特性について。