研究者情報 | 神奈川大学

オクノ　ショウジ Okuno Shoji 奥野　祥二所属神奈川大学情報学部システム数理学科職種助教
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1993/11
形態種別	その他
標題	New Insulator film of Integrated Capacitor for Silicon Strip Detector
執筆形態	共著
掲載誌名	the IEEE Nucl．Sci．Symposium
概要	S.Okuno，S.Avrillon（Grad.U.Advanced Studies）, T.Akamine，Y.Saitoh，J.Yamanaka， S.Miyahara，Y.Ishihara，H.Takeuchi，M.Mandai，H.Kanazawa，Y.Kojima，M.Kamiya（Sekio Inst.Inc.），Y.Fujita，Y.Higashi，H.Ikeda， M.Ikeda，S.Koike，T.Matsuda，H.Ozaki，M.Tanaka，T.Tsuboyama（KEK），J.Haba， H.Hanai（Osaka U.），S.Mori，K.Yusa（Tsukuba U.）and C.Fukunaga（Tokyo Metro U.）.シリコン検出器に集積して作り込む読みだ使用のカップリング・キャパシタに用いる絶縁膜として、シリコン酸化膜－シリコン窒化膜－シリコン酸化膜というこう構造を取るONO絶縁膜を提案、及び電気特性について。