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オクノ ショウジ
Okuno Shoji 奥野 祥二 所属 神奈川大学 情報学部 システム数理学科 職種 助教 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 1993/11 |
形態種別 | その他 |
標題 | New Insulator film of Integrated Capacitor for Silicon Strip Detector |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | the IEEE Nucl.Sci.Symposium |
概要 | S.Okuno,S.Avrillon(Grad.U.Advanced Studies), T.Akamine,Y.Saitoh,J.Yamanaka,
S.Miyahara,Y.Ishihara,H.Takeuchi,M.Mandai,H.Kanazawa,Y.Kojima,M.Kamiya(Sekio Inst.Inc.),Y.Fujita,Y.Higashi,H.Ikeda, M.Ikeda,S.Koike,T.Matsuda,H.Ozaki,M.Tanaka,T.Tsuboyama(KEK),J.Haba, H.Hanai(Osaka U.),S.Mori,K.Yusa(Tsukuba U.)and C.Fukunaga(Tokyo Metro U.).シリコン検出器に集積して作り込む読みだ使用のカップリング・キャパシタに用いる絶縁膜として、シリコン酸化膜-シリコン窒化膜-シリコン酸化膜というこう構造を取るONO絶縁膜を提案、及び電気特性について。 |