研究者情報 | 神奈川大学

オクノ　ショウジ Okuno Shoji 奥野　祥二所属神奈川大学情報学部システム数理学科職種助教
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1995/10
形態種別	その他
標題	Test of a New Double-Sided Double-Metal Silicon Micro-Strip Detector with an ONO insulator
執筆形態	共著
掲載誌名	IEEE 1995 Nuclear Science Symposium and Medical Iaging Conference
概要	T.Tsuboyama，H.Ikeda，H.Iwasaki，H.Ozaki，S.Avrillon，M.Tanakaka，Y.Yamada（KEK），S.Okuno（Kanagawa U.），M.Hazumi，J.Haba，T.Kawasaki（Osaka U.），C.Fukunaga（Tokyo Metro.U.），Y.Asano，K.Yusa（Tsukuba U.），H.Miyata（Niigata U.），E.Banas，A.Bozek，Z.Natkaniec，H.Palka，M.Rozanska，K.Rybicki（Krakow Inst. Nucl. Phys.），Y.Saitoh，T.Akamine，K.Satoh，M.Inoue，J.Yamanaka，K.Akamine，S.Miyahara and M.Kamiya（Seiko Inst. Inc.）集積型キャパシタの誘電体としてシリコン酸化膜－シリコン窒化膜―シリコン酸化膜を積層化したONO絶縁膜を用いた新型の両面読みだし型シリコン・マイクロストリップ検出器の開発について報告した。