オクノ ショウジ   Okuno Shoji
  奥野 祥二
   所属   神奈川大学  工学部 情報システム創成学科
   職種   助教
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1995/10
形態種別 その他
標題 Test of a New Double-Sided Double-Metal Silicon Micro-Strip Detector with an ONO insulator
執筆形態 共著
掲載誌名 IEEE 1995 Nuclear Science Symposium and Medical Iaging Conference
概要 T.Tsuboyama,H.Ikeda,H.Iwasaki,H.Ozaki,S.Avrillon,M.Tanakaka,Y.Yamada(KEK),S.Okuno(Kanagawa U.),M.Hazumi,J.Haba,T.Kawasaki(Osaka U.),C.Fukunaga(Tokyo Metro.U.),Y.Asano,K.Yusa(Tsukuba U.),H.Miyata(Niigata U.),E.Banas,A.Bozek,Z.Natkaniec,H.Palka,M.Rozanska,K.Rybicki(Krakow Inst. Nucl. Phys.),Y.Saitoh,T.Akamine,K.Satoh,M.Inoue,J.Yamanaka,K.Akamine,S.Miyahara and M.Kamiya(Seiko Inst. Inc.) 集積型キャパシタの誘電体としてシリコン酸化膜-シリコン窒化膜―シリコン酸化膜を積層化したONO絶縁膜を用いた新型の両面読みだし型シリコン・マイクロストリップ検出器の開発について報告した。