オクノ ショウジ   Okuno Shoji
  奥野 祥二
   所属   神奈川大学  工学部 情報システム創成学科
   職種   助教
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1995/10
形態種別 その他
標題 Lifetime of an ONO Stacked Insulator Film for a Silicon Microstrip Detector
執筆形態 共著
掲載誌名 IEEE 1995 Nuclear Science Symposium and Medical Iaging Conference
概要 S.Okuno(Kanagawa U.),H.Ikeda(KEK),T.Akamine,Y.Saitoh,K.Kadoi and Y.Kojima(Seiko Inst. Inc) シリコン・マイクロストリップ検出器の組み込み型キャパシタに使われる絶縁膜の寿命について議論した。特に信頼性の向上が期待されるONO積層絶縁膜についての考察を行った。