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オクノ ショウジ
Okuno Shoji 奥野 祥二 所属 神奈川大学 情報学部 システム数理学科 職種 助教 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 1996 |
形態種別 | その他 |
標題 | Fabrication of a Double Sided Silicon Microstrip Detector with an ONO Capacitor Dielectric Film |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | 1995 IEEE Nuclear Science Symposium and Medical Iaging Conference Record Volume 1 |
巻・号・頁 | 201-205頁 |
概要 | Y.Saitoh,T.Akamine,M.Inoue,J.Yamanaka,K.Kadoi,Y.Kojima,S.Miyahara,M.Kamiya(Seiko Inst. Inc.),H.Ikeda,T.Matsuda,T.Tsuboyama,H.Ozaki,M.Tanaka,H.Iwasaki,J.Haba,Y.Higashi,Y.Yamada(KEK),S.Okuno(Kanagawa U.),S.Avrillon(Graduate U. Advanced Studies),T.Nemoto,I.Fukunishi,Y.Asano(Tskuba U.) ONO積層絶縁膜を用いた両面シリコン・マイクロストリップ検出器の製造法について。 |