オクノ ショウジ   Okuno Shoji
  奥野 祥二
   所属   神奈川大学  工学部 情報システム創成学科
   職種   助教
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1993
形態種別 その他
標題 New Insulator Film of Integrated Capacitor for a Silicon Strip Detector
執筆形態 共著
掲載誌名 Conference Record of the 1993 IEEE Nuclear Scienc Symposium and Medical Imaging Conference Vol.1
巻・号・頁 4-52頁
概要 S.Okuno,H.Ikeda(Grad. U. Advanced Studies),T.Akamine,Y.Saitoh,K.Kadoi and Y.Kojima(Seiko Ins.Inc.).集積形積層絶縁膜の電気特性について。