オクノ ショウジ   Okuno Shoji
  奥野 祥二
   所属   神奈川大学  工学部 情報システム創成学科
   職種   助教
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1995/10
形態種別 その他
標題 Fabrication of a Double Sided Silicon Microstrip Detector with an ONO Capacitor Dielectric Film
執筆形態 共著
掲載誌名 IEEE 1995 Nuclear Science Symposium and Medical Iaging Conference
概要 Y.Saitoh,T.Akamine,M.Inoue,J.Yamanaka,K.Kadoi,R.Takano,Y.Kojima,S.Miyahara,M.Kamiya(Seiko Inst. Inc.),H.Ikeda,T.Matsuda,T.Tsuboyama,H.Ozaki,M.Tanaka,H.Iwasaki,J.Haba,Y.Higashi,Y.Yamada(KEK),S.Okuno(Kanagawa U.),S.Avrillon(Graduate U. Advanced Studies),T.Nemoto,I.FukunishiY.Asano(Tsukuba U.) ONO積層絶縁膜を用いた両面シリコン・マイクロストリップ検出器の製造法について。