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オクノ ショウジ
Okuno Shoji 奥野 祥二 所属 神奈川大学 情報学部 システム数理学科 職種 助教 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 1996/11 |
形態種別 | その他 |
標題 | Accelerated Life Test of an ONO Stacked Insulator Film for a Silicon Microstrip Detector |
執筆形態 | 共著 |
掲載誌名 | IEEE 1996 Nuclear Science Symposium and Medical Iaging Conference |
概要 | S.Okuno(Kanagawa U.),H.Ikeda(KEK),Y.Saitoh,M.Inoue,J.Yamanaka,T.Akamine(Seiko Inst. Inc) シリコン・マイクロストリップ検出器の組み込み型キャパシタに使われる絶縁膜の寿命を測定するための計測システムの開発について。 |