オクノ ショウジ   Okuno Shoji
  奥野 祥二
   所属   神奈川大学  工学部 情報システム創成学科
   職種   助教
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1994/09
形態種別 その他
標題 シリコン検出器用積層絶縁膜の開発
執筆形態 共著
掲載誌名 日本物理学会1994年秋の分科会
概要 奥野祥二(総合研究大学院大)、池田博一(KEK)、赤嶺忠夫、斉藤豊、門井聖明、小島芳和(セイコー電子)。シリコン検出器に集積して作り込む読みだ使用のカップリング・キャパシタに用いる単層及び積層絶縁膜の絶縁膜破壊とリーク電流について。