ホリ ヒサオ   Hori Hisao
  堀 久男
   所属   神奈川大学  理学部 化学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1993/05
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Role of species generated from phosphorus sources in InGaP growth mechanism
執筆形態 共著
掲載誌名 Jpn. J. Appl. Phys.
巻・号・頁 32,L707-709.頁
著者・共著者 H. Hori, H. Ishikawa, M. Mashita
概要 MOCVD法によるInGaP薄膜成長反応において、PHxラジカルとリン分子の両方の存在が必要なことを明らかにした。