ホリ ヒサオ   Hori Hisao
  堀 久男
   所属   神奈川大学  理学部 化学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1993/04
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Role of decomposition products from phosphorus sources in metalorganicchemical vapor deposition of InGaP
執筆形態 共著
掲載誌名 Inst. Phys. Conf. Ser.
巻・号・頁 129,103-108頁
著者・共著者 H. Hori, H. Ishikawa, M. Mashita
概要 ホスフィンとターシャリブチルホスフィンの両方を用いたInGaPのMOCVD薄膜成長を行い、結晶成長モデルを立てた。