ナカオ ヨウイチ   Nakao Yohichi
  中尾 陽一
   所属   神奈川大学  工学部 機械工学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2011/05
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Design of feedback control system for water driven stage
執筆形態 共著
掲載誌名 Proceedings of 11th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
巻・号・頁 1,335-338頁
著者・共著者 Y. Nakao, M. Nagashima, T. Sano and K. Suzuki