研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2018/08
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	サファイアウエハの振動援用インフィード平面研削に関する研究
執筆形態	共著
掲載誌名	砥粒加工学会誌
掲載区分	国内
出版社・発行元	（公社）砥粒加工学会
巻・号・頁	62(8),427-432頁
担当範囲	主著
著者・共著者	<由井明紀>，籔野真大，楠山純平，北嶋孝之，伊東利洋
概要	サファイアウエハは，硬脆性材料であり，難削材料に位置付けられる．筆者らは磁気アクチュエータを用いて砥石スピンドルをアキシャル方向に振動させるシステムを開発し，サファイア及びシリコンウエハの振動援用インフィードロータリ平面研削を試みた．その結果，難削材料であるサファイアウエハに対しては加工時間の短縮と研削比の向上が実現できたが，被削性の高いシリコンウエハに対しては振動援用効果が認められなかった.