ユイ アキノリ   Yui Akinori
  由井 明紀
   所属   神奈川大学  工学部 機械工学科
    神奈川大学大学院  工学研究科 工学専攻(機械工学領域)
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2017/12
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Siウエハのロータリ研削における砥粒貫入角が加工特性に及ぼす影響(査読付)
執筆形態 共著
掲載誌名 砥粒加工学会誌
掲載区分国内
出版社・発行元 (公社)砥粒加工学会
巻・号・頁 61(12),607-612頁
担当範囲 本研究は博士後期課程学生の論文であり、研究指導の一環として、構想・実験装置調達、実験、考察を担当した。
著者・共著者 楠山 純平,<由井 明紀>,北嶋 孝之,伊東 利洋
概要 1つの砥粒がウエハ加工面上を通過する長さ(砥粒通過長さL)とその間に切り込む深さ(砥粒切込み深さD)の比(砥粒貫入角度)を,砥石外径,ウエハ外径,砥石回転数,ウエハ回転数nおよび砥石切込み速度を用いた無次元数として定義し,砥粒貫入角度がウエハの表面粗さと砥石スピンドルに及ぼす影響を実験的に明らかにした.