研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2017/08
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発（第２報：切込み機構内蔵砥石スピンドルの基本特性の検討）
執筆形態	共著
掲載誌名	日本機械学会論文集
掲載区分	国内
出版社・発行元	（一社）日本機械学会
巻・号・頁	83(852),1-12頁
担当範囲	本研究は博士後期課程学生の論文であり、研究指導の一環として、構想・実験装置調達、実験、考察を担当した。
著者・共著者	楠山純平，本多歩，岩橋伸太郎，北嶋孝之，<由井明紀>，伊東利洋，X. Lu，A. H. Slocum
概要	450 mmシリコンウエハ加工用ロータリ研削盤を開発し，スラスト軸受に磁気アクチュエータを採用した機構内蔵砥石スピンドルの性能評価を行った．静剛性は1.06 kN/μm，砥石軸の位置決め精度は0.2 μmの指令値に対して概ね追従した．以上の結果より，本研削盤の砥石スピンドルは高い静剛性および追従性能を有しており，大径ウエハの裏面研削に対し十分な大きさを有していることを明らかにした．