研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2016/10
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発（第1報：水静圧ロータリテーブル）（査読付）
執筆形態	共著
掲載誌名	日本機械学会論文集(C編)
掲載区分	国内
出版社・発行元	（一社）日本機械学会
巻・号・頁	82(842),1-12頁
担当範囲	本研究は博士後期課程学生の論文であり、研究指導の一環として、構想・実験装置調達、実験、考察を担当した。
著者・共著者	楠山純平，本多歩，北嶋孝之，岡畑豪，<由井明紀>，伊東利洋，A. H. Slocum
概要	半導体基板の生産性向上のために，ウエハの大径化が望まれている。そこで， φ450mm シリコンウエハを加工するための高剛性ロータリ研削盤を開発した。本報では，基本設計と定流量水静圧軸受を搭載したテーブルの性能に関して実験的に考察した。また，有限要素法を用いて軸受パッド周りの流体解析を行い，実測値と比較評価した。軸受流量Q=30 mL/minにおけるテーブル静剛性は1.97kN/μmであった。