ユイ アキノリ   Yui Akinori
  由井 明紀
   所属   神奈川大学  工学部 機械工学科
    神奈川大学大学院  工学研究科 工学専攻(機械工学領域)
   職種   教授
言語種別 日本語
形態種別 学術雑誌
標題 水潤滑ロータリテーブルの設計および開発
執筆形態 共著
掲載誌名 トライボロジスト
掲載区分国内
出版社・発行元 日本トライボロジー学会
巻・号・頁 67(9),609-614頁
著者・共著者 楠山純平
概要 超精密工作機械用静圧軸受の潤滑流体として水を適用した場合,空気軸受と比較して高剛性・高負荷容量が得られるとともに油潤滑軸受と比べ粘性による発熱も小さいといった利点がある.さらに冷却媒体として優れることからワークテーブルの熱的安定性にも期待ができる. 本稿では超精密工作機械用静圧型水潤滑軸受の性能とその設計指針を中心にご紹介いただく