研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2016/10
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Effects of Relative Velocity on Grinding Performances under Si Wafer Rotary Grinding
執筆形態	共著
掲載誌名	Materials Science Forum
掲載区分	国外
巻・号・頁	874,395-400頁
担当範囲	本研究は博士後期課程学生の論文であり、研究指導の一環として、構想・実験装置調達、実験、考察を担当した。
著者・共著者	J. Kusuyama, T. Kitajima, <A. Yui> and T. Ito
概要	半導体デバイスの製造工程におけるロータリ研削においては，砥粒によるウエハ表面や内部への損傷を小さくすることは重要な課題である。そこで加工条件を用いた加工速度比を定義し，加工特性におよぼす影響を実験的に明らかにした。加工速度比が大きくなると算術平均高さが大きくなり，砥石スピンドルの消費電力は小さくなることを明らかにした。また，延性-脆性遷移点の予想を可能にした。