研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2015/10
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Loop Stiffness of Grinding Machine Developed for 450 mm Silicon Wafers
執筆形態	共著
掲載誌名	Applied Mechanics and Materials
掲載区分	国外
巻・号・頁	806,655-660頁
担当範囲	本研究は博士後期課程学生の論文であり、研究指導の一環として、構想・実験装置調達、実験、考察を担当した。
著者・共著者	J. KUSUYAMA, S. IWAHASHI, T. KITAJIMA, N. OGASAWARA, <A.YUI>, H. SAITO, A. H. SLOCUM
概要	φ450mm大径シリコンウエハ加工用の水静圧軸受を有する高剛性なロータリ研削盤を開発した。本研究では，研削盤のループ剛性を評価した。