研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2014/09
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Development of Rotary Work Table with Constant-flow Hydrostatic Water Bearing for Large Scale Silicon-wafer Grinding Machine
執筆形態	共著
掲載誌名	Advanced Materials Research
掲載区分	国外
巻・号・頁	1017,604-609頁
担当範囲	実験装置の設備，実験，評価を担当。
著者・共著者	Go Okahata,Akinori Yui, Takayuki Kitajima, Shigeki Okuyama, Hirotsugu Saito and Alexander Henry Slocum
概要	開発中の定流量水静圧軸受を用いたワークテーブルの静的特性を数値解析によって調べた。その結果，大口径シリコンウエハ研削盤として使用するのに十分な性能を有することが確かめられた。