ユイ アキノリ   Yui Akinori
  由井 明紀
   所属   神奈川大学  工学部 機械工学科
    神奈川大学大学院  工学研究科 工学専攻(機械工学領域)
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2014/05
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 リニアモータ駆動・水静圧案内テーブルの開発(磁気吸引力に起因するピッチングとヨーイングの抑制)
執筆形態 共著
掲載誌名 砥粒加工学会誌
掲載区分国内
出版社・発行元 (公社)砥粒加工学会
巻・号・頁 58(5),307-313頁
担当範囲 実験装置の準備,実験,考察指導
著者・共著者 奥山 繁樹,長田 啓嗣,北嶋 孝之,<由井 明紀>
概要 水を作動流体としたリニアモータ駆動・水静圧案内テーブルを開発した。その運動精度を測定したところ,微細な周期的ピッチングが観察された。角度偏差(ピッチング,ヨーイング)の原因を調べた結果,コイルスライダのコアが永久磁石列(配列ピッチ30mm)から受ける吸引力の変動に起因するモーメントバランスが30mm周期でくずれるためとわかった。そこで,テーブル端に強磁性体を設置し,カウンタバランサとして機能させた.最適と推定されたカウンタバランサ位置で,テーブルの角度偏差を目標値以内に抑制できた。