ユイ アキノリ   Yui Akinori
  由井 明紀
   所属   神奈川大学  工学部 機械工学科
    神奈川大学大学院  工学研究科 工学専攻(機械工学領域)
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2009/04
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 35 リニアモータ駆動・水静圧案内テーブルの開発(テーブルシステムの設計・開発と静的特性)(査読付)
執筆形態 共著
掲載誌名 日本機械学会論文集(C編)
掲載区分国内
出版社・発行元 (一社)日本機械学会
巻・号・頁 75(752),1128-1134頁
担当範囲 主著
著者・共著者 <由井 明紀>, 熊谷 誠弥, 北嶋 孝之, 奥山 繁樹, 藤田 悦男, A. H. Slocum
概要 水静圧軸受とリニアモータを装備した直動案内テーブルを開発した。絞りを必要としない定流量・水静圧軸受を開発するとともに,リニアモータを傾斜して設置することにより,上下と前後の両方向にプリロードを与える簡単かつ剛性の高い案内テーブルを構築できた。軸受隙間16μm,各ポンプの流量0.92mL/sにおけるテーブル静剛性の測定値は660N/μm,支持力の測定値は4500Nであった。