ミズノ トモヒサ   Mizuno Tomohisa
  水野 智久
   所属   神奈川大学  理学部 数理・物理学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2017/09
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Hot-C+-Ion Implantation Optimization for Forming Nano-SiC Region at Surface (100)SOI Substrate
執筆形態 共著
掲載誌名 Extended Abst. of SSDM
掲載区分国内
出版社・発行元 JSAP
巻・号・頁 pp.537-538
著者・共著者 T. Mizuno, Y. Omata, S. Nakada, T. Aoki, and T. Sasaki