ミズノ トモヒサ   Mizuno Tomohisa
  水野 智久
   所属   神奈川大学  理学部 数理・物理学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2019/07
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 SiC nano-dot formation in bulk-Si substrate using hot-C+-ion implantation process
執筆形態 共著
掲載誌名 Jpn. J. Appl. Phys.
掲載区分国外
出版社・発行元 IOP Publishing
巻・号・頁 58,pp.081004-1-081004-12
著者・共著者 T. Mizuno, M. Yamamoto, S. Nakata, S. Irie, T. Aoki, and T. Sameshima