ミズノ トモヒサ   Mizuno Tomohisa
  水野 智久
   所属   神奈川大学  理学部 数理・物理学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2001
形態種別 その他
標題 ITOX法を用いた高品質/応力緩和SGOI基板技術
執筆形態 共著
掲載誌名 秋季応物予稿集,講演番号11p-M-4(2001).
概要 水野智久,杉山直治,手塚勉, 高木信一