ミズノ トモヒサ   Mizuno Tomohisa
  水野 智久
   所属   神奈川大学  理学部 数理・物理学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1987
形態種別 学術雑誌
標題 Oxidation Rate Reduction in the Submicrometer LOCOS Process
執筆形態 共著
掲載誌名 IEEE Trans. Electron Devices,ED-34(1987).
巻・号・頁 2255頁
概要 T.Mizuno, S.Sawada, S.Maeda, and S.Shinozaki