ミズノ トモヒサ   Mizuno Tomohisa
  水野 智久
   所属   神奈川大学  理学部 数理・物理学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1983
形態種別 その他
標題 素子分離領域のサブミクロン化にともなう酸化レートの低下
執筆形態 共著
掲載誌名 秋季応物予稿集,講演番号6p-N-8(1983).
巻・号・頁 422頁
概要 水野智久,沢田静雄,岡田芳夫,仁平裕之,篠山慧,尾沢修