ミズノ トモヒサ   Mizuno Tomohisa
  水野 智久
   所属   神奈川大学  理学部 数理・物理学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 1983
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Reduction of Thermal Oxidation Rate in Fine Silicon Pattern
執筆形態 共著
掲載誌名 ECS Extented Abst.,vol 83-2(1983).
巻・号・頁 pp.480
概要 T.Mizuno, S.Sawada, H.Nihira, S.Shinozaki, and O.Ozawa