ヤマグチ カズオ   Yamaguchi Kazuo
  山口 和夫
   所属   神奈川大学  理学部 化学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1992/03
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 New positive EB resist with strong resistance to plasma damage
執筆形態 共著
掲載誌名 Journal of Electrochemical Society
掲載区分国外
巻・号・頁 139(3),L33-L34頁
著者・共著者 山口和夫、尾崎裕之、平尾明、平瀬信光、原田裕一、鵜沢佳徳、関根松夫、吉森茂、川村光男。
概要 ラジカル重合によって合成したトリエトキシシリルプロピルメタクリレートとメチルメタクリレートの共重合体は、従来のポリメチルメタクリレートに比べ、耐プラズマ性にすぐれた電子線レジストであることを明らかにした。(共同研究につき本人担当部分抽出不可能)