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ユイ アキノリ
Yui Akinori 由井 明紀 所属 神奈川大学 工学部 機械工学科 神奈川大学大学院 工学研究科 工学専攻（機械工学領域） 職種 教授 |
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| 発表年月日 | 2016/08/31 |
| 発表テーマ | 切込機構内蔵砥石スピンドルを用いたシリコンウエハの揺動研削に関する研究 |
| 発表学会名 | 砥粒加工学会学術講演会ABTEC2016 |
| 主催者 | 砥粒加工学会 |
| 学会区分 | 全国学会 |
| 発表形式 | 口頭（一般） |
| 単独共同区分 | 単独 |
| 開催地名 | 兵庫県, 姫路市 |
| 概要 | 切込機構内蔵砥石スピンドルを用いたシリコンウエハの揺動研削に関する研究 |
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