|
|
ホシノ ヤスシ
Hoshino Yasushi 星野 靖 所属 神奈川大学 理学部 理学科 神奈川大学大学院 理学研究科 理学専攻(物理学領域) 職種 准教授 |
|
発表年月日 | 2014/09 |
発表テーマ | Si基板中への高温酸素イオン注入により形成したSOI構造の評価 |
発表学会名 | 応用物理学会 学術講演会 講演番号:18p-A14-18 |
学会区分 | 全国学会 |
発表形式 | ポスター |
単独共同区分 | 共同 |
開催地名 | 北海道大学 |
発表者・共同発表者 | 神川智洋、星野靖、斎藤保直、中田穣治 |