研究者情報 | 神奈川大学

ホシノ　ヤスシ Hoshino Yasushi 星野　靖所属神奈川大学理学部理学科神奈川大学大学院理学研究科理学専攻（物理学領域）職種准教授
発表年月日	2016/12
発表テーマ	Siへの高温低エネルギー酸素イオン注入法による超極薄SOI構造形成の研究
発表学会名	第35回法政大学イオンビーム工学研究所シンポジウム
学会区分	研究会・シンポジウム等
発表形式	ポスター
単独共同区分	共同
開催地名	法政大学
発表者・共同発表者	豊原太雅、井上航大、谷地田剛介、星野靖、斎藤保直、中田穣治