![]()
|
|
|
ホシノ ヤスシ
Hoshino Yasushi 星野 靖 所属 神奈川大学 理学部 理学科 神奈川大学大学院 理学研究科 理学専攻(物理学領域) 職種 准教授 |
|
| 発表年月日 | 2020/09/08 |
| 発表テーマ | RBS 法による膜厚測定から求めた高エネルギータングステンの自己スパッタリング収率の測定 |
| 発表学会名 | 2020年 第81回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 主催者 | 応用物理学会 |
| 学会区分 | 全国学会 |
| 発表形式 | 口頭(一般) |
| 単独共同区分 | 共同 |
| 開催地名 | オンライン開催 |
| 発表者・共同発表者 | 中川 創平,星野 靖,加藤 太治, 間嶋 拓也,斉藤 学,土田 秀次 |