研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
発表年月日	2015/09/09
発表テーマ	φ450シリコンウエハ加工用研削盤のループ剛性
発表学会名	砥粒加工学会学術講演会ABTEC2015
主催者	砥粒加工学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催地名	神奈川県，横浜市
概要	φ450mmシリコンウエハ加工用の水静圧軸受を搭載した切込み機構内蔵砥石スピンドルを有するロータリ研削盤を開発し，その剛性を測定・評価した．カップ砥石を除いた場合のループ剛性は216[kN/μm]であるの対して，カップ砥石を含めた場合は13.3 [kN/μm]となった．そこで有限要素法により数値解析を行い，カップ砥石の変形がループ剛性を著しく低下させていることを明らかにした．