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カメヤマ アツシ
Kameyama Atsushi 亀山 敦 所属 神奈川大学 化学生命学部 応用化学科 神奈川大学大学院 工学研究科 工学専攻（応用化学領域） 職種 教授 |
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| 発表年月日 | 2003/12 |
| 発表テーマ | New Fluoropolymers for 157 nm Lithography: Synthesis, Characterization, and Photochemical Reaction of Fluoropolymers |
| 発表学会名 | RadTech Asia 2003 |
| 学会区分 | 国際学会 |
| 発表形式 | 口頭（一般） |
| 単独共同区分 | 共同 |
| 発表者・共同発表者 | Y. Konno, H. Kudo, and T. Nishikubo |
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