研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
発表年月日	2018/08/29
発表テーマ	サファイアウエハの振動援用インフィード研削に関する研究
発表学会名	砥粒加工学会学術講演会ABTEC2018
主催者	砥粒加工学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催地名	金沢市
概要	ウエハの高能率生産を目的として，磁気アクチュエータを用いて砥石スピンドルをアキシャル方向に振動させるシステムを開発し，サファイアおよびシリコンウエハの振動援用インフィードロータリ平面研削を試みた．その結果，難削材料であるサファイアウエハに対しては加工時間の短縮と研削比の向上が実現できたが，被削性の高いシリコンウエハに対しては振動援用効果が認められなかった.