研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
発表年月日	2012/10/27
発表テーマ	450mm大口径ウエハ研削盤の開発-第1報　研削盤仕様と基本性能
発表学会名	日本機械学会　第9回生産加工・工作機械部門講演会
主催者	日本機械学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催地名	秋田県, 由利本庄市
概要	高剛性な450mm大口径ウエハ研削盤の設計・試作をした．この研削盤は，切込み機能を有するスピンドルと水静圧軸受を有するテーブル，そしてスピンドルユニットとテーブルユニットを高剛性に保持するキネマティックカップリングシステムから構成されている．各ポンプ流量10mL/minにおいて1.61kN/μmの静剛性が得られた．