研究者情報 | 神奈川大学

ユイ　アキノリ Yui Akinori 由井　明紀所属神奈川大学工学部機械工学科神奈川大学大学院工学研究科工学専攻（機械工学領域）職種教授
発表年月日	2017/08/30
発表テーマ	ダイヤモンド工具によるSiC ウエハのナノ加工に関する研究
発表学会名	砥粒加工学会学術講演会ABTEC2017
主催者	砥粒加工学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	単独
開催地名	福岡工業大学
概要	近年，非球面多焦点レンズ，フレネルレンズ，液晶パネル用導光板など光学部品の高機能化・大量消費化に伴い，これらの製造に必要不可欠な金型の高精度化，高精細化，長寿命化が望まれている．本研究では，耐熱性，耐食性，熱伝導特性に特に優れた単結晶SiC材料の金型への適用を目標に，ナノ加工に関する研究を行った．